Введение в современную микро- и наносистемную технику
Купили 3 человека
- Переплёт Твёрдый
- Кол-во стр. 232
- Вес 390 г
- Год издания 2024
Отзывы
Уже жду следующую книгу автора
Большое спасибо автору за такой замечательный труд, очень мало русскоязычных книг про изготовление ИМС, технологические процессы и оборудование. Прекрасный обзор на полуроводниковое производство, здорово, что есть глава про чистые помещения, описания и параметры процессов. Хотелось бы ещё больше подробностей по каждому из них, больше информации с деталями по оборудованию, но и так книга замечательная.
Плюсы
Описание всех операций изготовления ИМС
Минусы
Нет главы про химико-механическую полировку и планаризацию, но этот процесс мало где описан
Описание и характеристики
- Переплёт Твёрдый
- Кол-во стр. 232
- Вес 390 г
- Год издания 2024
- Издательство
- Автор
- Размеры в см 1.8x15.4x21.7
- ID товара 3006673
- ISBN 978-5-9729-1613-9
