Ключевые темы и методики
В основе изложения — последовательный разбор развития КМОП-технологии. Важное место занимают порядок производственных операций и инженерные методы, которые обеспечили дальнейшее уменьшение размеров элементов. Материал объединяет несколько связанных направлений и позволяет увидеть, как эволюционировали технологические маршруты в микроэлектронике.- Обработка кремниевых пластин — операции, применявшиеся на разных этапах развития производства.
- Формирование транзисторных структур — технологические решения и их изменения при переходе к меньшим размерам.
- Масштабирование — развитие способов изготовления элементов вплоть до нанометрового уровня.
- КМОП сверхбольшие интегральные схемы — особенности изготовления микросхем разных технологических уровней.
Кому подойдёт книга
Издание адресовано студентам старших курсов, магистрантам и аспирантам, специализирующимся в микроэлектронике. Книга также будет полезна научным работникам, инженерам и руководителям, связанным с разработкой, производством и применением интегральных микросхем. Её можно использовать при самостоятельном изучении темы, в учебной работе и как источник сведений о технологических маршрутах и способах формирования структур.Описание подготовлено редакцией Читай-города на основе официальной аннотации издательства, отзывов и оценок покупателей, а также информации из открытых интернет-источников.