Алмазы в микроэлектронике: от исследований к разработкам
Купил 1 человек
- Переплёт Твёрдый
- Кол-во стр. 306
- Вес 600 г
- Год издания 2025
Отзывы
Описание и характеристики
Описана последовательность операций при изготовлении приборов на алмазах. Прежде всего для изготовления образцов устройств и их элементов использовались методы и оборудование вакуумного нанесения проводящих, полупроводниковых и вспомогательных слоев, включая магнетронное, электронно-лучевое, молекулярно-лучевое осаждение, CVD- и HPHT-технологии синтеза алмаза, технология ионной имплантации, лазерные, ионно-плазменные и ионно-лучевые технологии обработки и травления.
Обзор представляет интерес для ученых, инженеров и преподавателей высшей школы, аспирантов и магистров, студентов и бакалавров, специализирующихся в области радиоэлектроники и микросистемной техники.
- Переплёт Твёрдый
- Кол-во стр. 306
- Вес 600 г
- Год издания 2025
- Издательство
- Автор
- Размеры в см 2x17x24
- ID товара 3106458
- ISBN 978-5-94836-716-3
